Magyar Tudományos Akadémia
SZILÁRDTESTFIZIKAI ÉS OPTIKAI KUTATÓINTÉZET
1121
Budapest, Konkoly Thege út 29-33,  tel: 392-2212

 

SZFKI SZEMINÁRIUM

 

Donkó Zoltán

 

(SZFKI)


Alacsony nyomású gázkisülések önkonzisztens modellezése

 

 

(SZFKI Publikációs Díj szeminárium)

 

Az alacsony nyomású gázkisülések a mesterségesen előállított (nem fúziós célú) plazmák egyik legfontosabb típusát képviselik. Alkalmazásaik igen sokrétűek: felhasználásra kerülnek többek között fényforrásokban (fénycsövekben, spektroszkópiai lámpákban és lézerekben), valamint a mikroelektronikai- és anyagtechnológia alapvető fontosságú folyamataiban (pl. plazmamarás, porlasztás, rétegleválasztás, felületi tulajdonságok módosítása).

 

Alkalmazásaik mellett a gázkisülési plazmák (mint komplex nemlineáris rendszerek) számos, az alapkutatások szempontjából érdekes jelenséget mutatnak, amelyeknek megértése mind alapvető érdeklődésünk, mind pedig az alkalmazások elősegítése szempontjából fontos. Az előadás rövid bevezetést nyújt az alacsony nyomású gázkisülések működésének fizikai alapjaiba, ismerteti a kisülések elemi folyamatok szintjén megvalósítható, önkonzisztens modellezési, illetve számítógépes szimulációs módszereit. Néhány konkrét vizsgált problémán (elektromos karakterisztikák számításán, tranziens jelenségek leírásán) keresztül bemutatja a „korszerű” szimulációs módszerek adta lehetőségeket.

 

 

2004. február 3. (kedd) de. 10:00

I. épület Tanácsterem

 

Minden érdeklődőt szívesen látunk!