A TESCAN MIRA3 pásztázó elektronmikroszkóp a mai legmodernebb elektronforrással, azaz téremissziós katóddal felszerelt berendezés, amelynek segítségével megfelelő elektromosan vezető felület leképezése során 1 nm körüli felbontás érhető el. A berendezés a 0,1-30 kV gyorsító feszültség tartományban üzemel. Az alapkiépítés mellett a mintakamrában nagyvákuumban (~10^-3 Pa nyomáson) lehet mintákat vizsgálni. A berendezés motorizált módon tetszőleges irányban mozgatható és dönthető tárgyasztallal rendelkezik.

A berendezés működtetéséhez 4 különféle detektor áll rendelkezésre:
- szekunder elektron detektor a mintakamrában (SE detektor),
- szekunder elektron detektor az elektronoszlopban (IN-BEAM SE detektor),
- visszaszórt elektron detektor a mintakamrában (BSE detektor), valamint
- energiadiszperzív röntgenspektrométer elemanalitikai célokra (EDS detektor).

Az alapkiépítés mellett a 2021-ben megvalósult fejlesztések eredményeként "alacsony vákuum módban" is lehet vizsgálatokat végezni. Ez a vizsgálati mód elsődlegesen elektromosan szigetelő, akár biológiai eredetű minták borítás nélküli vizsgálatára alkalmas.

A szekunder elektronokkal alkotott kép elsősorban a felületi morfológiára, míg a visszaszórt elektron kép a felülethez közeli rétegben fennálló rendszámkontrasztra érzékeny. A három képalkotó detektor képe az érzékletesebb megjelenítés érdekében tetszőlegesen keverhető.

Az elemanalitika rendszer esetén a tipikus gerjesztési térfogat maximális gyorsító feszültség mellett mintegy 1 köbmikrométer. Ennek megfelelően az elemzés legkevesebb kb. 1 mikrométeres tartományományban vett átlagot képes jellemezni. A fenti korlát figyelembe vételével teljes felületet jellemző átlagos összetétel, a minimális leképezett tartománynak megfelelő helyi összetétel, illetve vonalmenti elemzés és területi elemtérkép is készíthető.

A készüléket egy újszerű, regionálisan egyedülálló kiegészítés teszi igazán különlegessé. A mintakamrába atomi erőmikroszkópot (Atomic Force Microscopy, AFM) befogadó tárgyasztal helyezhető, amivel egyidejű, korrelatív méréstechnikával rögzíthető a képi és a kvantitatív morfológiai információ.