A rádiófrekvenciás gerjesztésű gázkisülések sokoldalúan használható eszközként vannak jelen a félvezetőipartól kezdve a biomedikáig: plazma-alapú technológiára épül az integrált áramkörök gyártása (plazma-alapú maratás), a napelemek előállítása (plazma-alapú rétegleválasztás), orvosi implantátumok kezelése (plazma-alapú felületkezelés) stb. Ezek az alkalmazások a gázkisülési plazma részecskéinek a felülettel való kölcsönhatásán alapulnak. Kutatásukat a plazmában lejátszódó komplex fizikai jelenségek megértése mellett erősen motiválják a különböző alkalmazások, amelyek szempontjából fontos a plazmajellemzők és a külső kontroll-paraméterek közötti összefüggések feltárása. Ebben segítenek a számítógépes szimulációk. Az utóbbi néhány évben számos munka mutatott rá a felületi folyamatok realisztikus leírásának fontosságára a gázkisülési plazmák szimulációja során. Az előadásban szó lesz alacsony nyomású, rádiófrekvenciás gázkisülések Particle-in-Cell/Monte Carlo Collisions (PIC/MCC) szimulációs módszerrel való vizsgálatáról, a különböző felületi folyamatok hatásáról a plazmajellemzőkre, valamint ezen rendszerek kísérleti vizsgálatáról, a szimulációkhoz szükséges paraméterek kísérleti meghatározásáról.